主要功能

     雙面精密研磨拋光機(jī)可以對(duì)硅、氧化硅材料進(jìn)行減薄以及拋光處理。實(shí)現(xiàn)對(duì)于加工后的粗糙硅表面進(jìn)行減薄、平坦化以及二次平整的工藝步驟，以保證后續(xù)硅硅鍵合或者光刻工藝的順利進(jìn)行。該設(shè)備的最終處理對(duì)象為不平整的硅表面、氧化硅表面，實(shí)現(xiàn)樣品的厚度減薄或?qū)崿F(xiàn)表面平整化與拋光。